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北京泰龙电子技术有限公司 PECVD

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品牌: PECVD
样片尺寸: 8英寸及以下,单片装载,兼容小片
PECVD淀积均匀性: ≤±5%
样品加热系统: 可对衬底加热,沉积温度:250℃-400℃(CCP平板式),<250℃(ICP等离子体式)
单价: 面议
起订: 1 台
供货总量:
发货期限: 自买家付款之日起 120 天内发货
所在地: 北京
有效期至: 长期有效
最后更新: 2015-05-05 14:51
浏览次数: 908
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公司基本资料信息
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产品详细说明
?PECVD-200是全自动化机型,用于生成高质量SiNxSiO2Poly-Si等薄膜,控制系统由工控机+触摸屏+Labwindow系统组成,包含各种互锁功能及报警功能,更为安全可靠,且操作简单方便。

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